处理所以设备故障的首要步骤是进行详细的故障诊断，即弄清楚故障的真正原因。以下是一些中山真空热处理设备出现故障后的处理步骤：

1. 认识故障：了解设备的工作原理和结构，并观察设备运行状态以确定具体故障。这可能包括设备的操作错误、系统泄漏、电源问题、加热元件故障等。

2. 检查设备：查看所有零件是否处于正常工作状态，如电源线、电器控制系统、真空泵等。同时，检查设备是否有明显的物理损坏，如裂痕、磨损等。

3. 确定故障原因：根据设备故障的具体表现，结合设备检查的结果，确定故障可能的原因。

4. 修理设备：根据确定的故障原因进行修理。例如，如果是电源线的问题，可以选择更换电源线; 如果是系统泄漏，可以选择更换部件或密封材料。

5. 验证修复效果：修复完成后，需要进行测试以确保设备已恢复正常工作。

6. 定期维护：为防止类似的故障再次发生，定期进行设备维护和保养。保持设备清洁，定期更换磨损部件，并按照厂家指南保养设备。

在大多数情况下，如果对设备不够了解或者故障复杂难以处理，建议联系设备提供商的专业维修人员来进行故障诊断和修理。他们通常会提供设备保修服务并负责故障排查和修理。